晶片尺寸:4~6英寸
晶片厚度:350 μm ± 15 μm
電阻率:0.015~0.024 Ω·cm
產品用途:產品主要于制造SiC電力電子
器件及SiC襯底上GaN光電子器件。
晶體尺寸:4~6英寸
電阻率:0.015~0.024 Ω·cm
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